多晶片探针仪

摘要

本发明系关于多晶片探针仪，其揭示可高效率检查以分离状态施行检查之晶片。本发明之多晶片探针仪，包含：载台26，其系保持分离后之复数晶片14；针头31，其系具有同时接触于2个以上特定数晶片之电极15之复数针33、33A、33E；电极位置检测机构29，其系检测保持于载台之复数晶片之电极位置；及复数针位置调整机构36B-36H，其系调整各针之位置；藉复数针位置调整机构，以对应于所检测出之复数晶片之电极位置之方式，调整复数针之位置，而使复数针同时接触于复数晶片之电极。