压力传感器

摘要

本发明提供一种压力传感器，能克服为了降低成本而使圆筒型成型波纹管配置成串联状或同心圆状的压力传感器的缺点，即对来自与轴向垂直的方向的冲击的强度降低。该压力传感器具备：具有第一压力输入口(3a)和第二压力输入口(4a)的气密壳体(2)；具有与第一压力输入口连通的轴孔的圆筒型第一波纹管(10)；具有与第二压力输入口连通的轴孔、且与第一波纹管串联状配置的圆筒型第二波纹管(12)；固定配置于第一和第二波纹管各自的另一端之间的振动元件粘接底座(15)；由振动元件粘接底座支撑的薄板状压电振动元件(20)，压电振动元件的一端固定在第二壁面，另一端固定于振动元件粘接底座，气密壳体的内壁和振动元件粘接底座之间使用加强用弹性部件(50)连接。

主权项

1.一种压力传感器，该压力传感器具备：气密壳体，该气密壳体在相对的第一和第二壁面上分别具有第一压力输入口和第二压力输入口；圆筒型的第一波纹管，该第一波纹管的一端固定在该第一壁面上，且该第一波纹管具有与第一压力输入口连通的轴孔；圆筒型的第二波纹管，该第二波纹管的一端固定在该第二壁面上，且该第二波纹管具有与第二压力输入口连通的轴孔，且该第二波纹管与第一波纹管串联状配置；振动元件粘接底座，该振动元件粘接底座固定配置于该第一与第二波纹管的各自的另一端之间；薄板状的压电振动元件，该压电振动元件由该振动元件粘接底座支撑；以及振荡电路，该振荡电路与该压电振动元件上的电极图案导通，其特征在于，所述压电振动元件的一端固定在所述第二壁面上，且另一端固定于所述振动元件粘接底座上，在与所述压电振动元件之间夹着所述第二波纹管且与所述压电振动元件相对的位置、在所述第二壁面与所述振动元件粘接底座之间固定压电加强板，在所述气密壳体的内壁与所述振动元件粘接底座之间使用加强用弹性部件来连接。