采用选通快门和梯形棱镜的成像干涉光刻方法及其光刻系统

摘要

采用选通快门和梯形棱镜的成像干涉光刻方法及系统，其特征是采用选通快门和梯形棱镜装置为三次曝光成像干涉光刻提供垂直方向照明、X方向偏置和Y方向偏置照明，实现成像干涉光刻的三次曝光。本发明无任何移动部件，减少振动影响，也不需要转动掩模或抗蚀剂基片，不存在三次曝光图像之间的对准难题，故实现较易，省事省时，并可通过选择各次曝光的快门开启时间控制曝光量以及控制三次曝光的相对曝光量比值，优化曝光频谱特性，提高对比度和分辨率，改善图形保真度。实现成像干涉光刻的三次曝光。

主权项

1、一种采用选通快门和梯形棱镜的成像干涉光刻方法，其特征在于包括下列步骤：(1)将选通快门和其后的梯形棱镜放置于扩束准直器和掩模之间，使组成选通快门的5个电动快门与梯形棱镜的用于曝光的5个面一一对应；(2)当需要垂直照明掩模时，只需要将电动快门中与梯形棱镜顶面对应的中间的一个快门开启，使光束通过梯形棱镜的顶面，从而实现垂直照明掩模的曝光；(3)当需要X方向偏置照明曝光时，只需要将其余4个电动快门中与梯形棱镜的两个相对斜面中的一个斜面所对应的快门开启，使光束通过梯形棱镜的两个相对斜面中的一个斜面后，实现X方向偏置照明曝光；(4)当需要Y方向偏置照明曝光时，只需要将其余4个电动快门中与梯形棱镜的另两个相对斜面中的一个斜面所对应的快门开启，使光束通过梯形棱镜的另两个相对斜面中的一个斜面后，实现Y方向偏置照明曝光；通过以上三次曝光即完成成像干涉光刻。