| 发明名称 | 处理装置中的处理器具的更换方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供可以一面继续进行具有更换对象以外的处理器具的处理单元的处理，一面进行供给处理的处理器具的更换的处理器具的更换方法和更换用程序。作为在由搬运部件将被处理体搬入到处理单元内，由作为处理器具的处理杯(23)包围的状态中，对被处理体实施处理的处理装置中的处理杯(23)的更换方法，通过确认在杯更换对象的处理单元中已结束被处理体的处理，报告可以开始处理器具更换作业(S104、S105)，当为了进行杯更换作业而关闭杯更换对象的处理单元的闸门(44)时，与此相伴地解除突入搬运部件的禁止工作状态，可对其它不是更换对象的处理单元进行搬出搬入工作(S106、S107)。 | ||
| 申请公布号 | CN100541710C | 申请公布日期 | 2009.09.16 |
| 申请号 | CN200710006582.4 | 申请日期 | 2007.02.06 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 田尻直幸;铃木彰史;本间大辅 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;G05B19/04(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙 淳 |
| 主权项 | 1.一种处理装置中的处理器具的更换方法，由搬运部件将被处理体搬入到处理单元内，并使用处理器具对被处理体实施处理，其特征在于，包括：确认在处理器具更换对象的处理单元中被处理体的处理已结束，并报告能够开始处理器具的更换作业的步骤；和当为了进行处理器具更换作业而关闭处理器具更换对象的处理单元的闸门时，与此相伴地解除突入的搬运部件的禁止工作状态，从而能够对其它不是更换对象的处理单元进行搬出搬入工作的步骤。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||