一种晶圆背部定位装置及其使用方法

摘要

本发明提供了一种装置和方法来解决表面不光滑的晶圆的切割问题，该装置包括上探针、下探针、安置晶圆的吸盘和操作平台四个部分，将晶圆放置在吸盘上，通过上探针找到切割点，用下探针给晶圆的背面的切割点打上标记。将晶圆翻转，利用现有机台，以所标记的切割点为新的切割点对晶圆进行切割，从而解决如凸点技术所生产的表面不光滑的晶圆的切割问题。

主权项

1.一种对晶圆背部的切割点进行定位标记的装置，含有上探针、下探针、安置晶圆的吸盘和操作平台四个部分，其中，所述吸盘为一中间为中空的矩形框，吸盘放置在操作平台上并可在平台表面移动，从而带动晶圆移动，下探针从操作平台下方穿过操作平台并伸入吸盘，上探针位于吸盘上方，其特点在于下探针有升降旋钮，可以上下运动，上探针可以微调其水平调整位置，从而使上探针的针尖可以与抬升时的下探针针尖重合。