供半导体晶片处理机器人使用之枢轴臂组件及其制造方法

摘要

一种用来制造机器人枢轴臂组件的方法，其包括由一刚性、可加工材料形成圆盘，并形成穿过该圆盘之中心的圆形开孔。一外部轴承轨道整合式地形成在定义该开孔的内表面之内，且该开孔圆盘放入一加工装置中，该装置具有一固定部分啮合该外部轴承轨道。接着加工至该圆盘一整合式的外部轴承环、一机械臂以及具有齿的一齿轮，以形成该枢轴臂组件的外部。具有一内部轴承轨道的一内部轴承环被放入该整合式外部轴承环之内，且滚动轴承元件被插入第一及第二轴承轨道。