半导体晶圆量测装置和方法

摘要

本发明系关于一种半导体晶圆量测技术，其系校正静电力对一半导体晶圆之一大气浮力补偿的重量量测之影响。在一态样中，在一重量经独立量测之法拉第(faraday)笼中称重一晶圆。该法拉第笼之测定重量之一改变可用于校正该晶圆之该量测重量。在另一态样中，使用藉由电荷仪所量测之一静电荷与一重力误差之间的一预定相关性，可将一直接的静电量测值转换成一重量校正值。在另一态样中，该静电量测可为间接的，例如从改变该晶圆与一平行于该晶圆之接地板之间的距离以造成该接地板与该晶圆之间的一静电力改变而导出。