微机电致动装置

摘要

本发明之提供一种微机电致动装置，其包括：一移动部分，其包括：一倾斜部分，其具有至少一倾斜面；以及复数个移动梳齿，位于该移动部分之至少一边。该微机电致动装置可大幅度地减低所需致动电压，且不需增加所占空间，进而节省晶片空间，且可提供监控移动部分的功能。