| 摘要 |
本发明的处理液浸透单元（10），是具备有：至少一个振动部（11）、以及将来自振动部（11）的振动予以传达的振动传达部（12）。振动传达部（12），是配置在：使晶圆（20）与支承板（21）贴合的黏接剂或附着于晶圆（20）表面的黏接剂、与振动部（11）之间；振动部（11）所导致的振动，是经由振动传达部（12）传达到黏接剂。藉此，在被供给用来使黏接剂溶解的处理液的黏接剂，处理液会进行浸透，能在较短时间均匀地使处理液浸透于黏接剂。藉此，让用来使黏着剂溶解的处理液能在更短时间浸透于，将晶圆与支承板予以贴合的黏接剂、或附着于晶圆表面的黏接剂。 |
