制造具金字塔结构矽表面之方法

摘要

本发明系一种将具有矽表面的矽晶圆浸泡在一种腐蚀溶液中，以制造具金字塔结构之矽表面的方法。为了尽可能制造出均匀的金字塔结构，本发明的方法是在矽表面与腐蚀溶液接触前先以臭氧处理矽表面。