电声转换器之振膜及其制造方法

摘要

本发明系有关于一种电声转换器之振膜及其制造方法，系于COMS基底上制作出具有复数凹洞的第一振膜及第二振膜，第一振膜与第二振膜互相堆叠且遮蔽彼此间的凹洞，以消弭成型后的残留内应力，藉以提升整个振膜结构的灵敏度。