| 发明名称 | 一种硅片传输控制系统及方法 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种硅片传输控制系统，包括：传输导轨；机械手，放置于所述传输导轨上；多个片库，并排放置于所述传输导轨的一侧；预对准台和下片台，并排放置，且位于所述传输导轨的另一侧；每个所述片库的开口处安装有激光发射器和激光接收器，所述机械手上设置一反射板；在所述传输导轨上设置有多对传感器，本发明能够及时的监控机械手和片库在传输导轨上的位置，定位准确，增加了控制系统的安全性。 | ||
| 申请公布号 | CN101533796A | 申请公布日期 | 2009.09.16 |
| 申请号 | CN200910048295.9 | 申请日期 | 2009.03.26 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 | 发明人 | 张鹏远;涂泽恩;程永锋 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;G05D3/12(2006.01)I;G05B19/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈 蘅;李时云 |
| 主权项 | 1. 一种硅片传输控制系统，包括：传输导轨；机械手，放置于一平板上，所述平板设置于所述传输导轨上；多个片库，并排放置于所述传输导轨的一侧；预对准台和下片台，并排放置，且位于所述传输导轨的另一侧；其特征在于：每个所述片库的开口处安装有激光发射器和激光接收器，所述机械手上设置一反射板；在所述传输导轨上设置有多对传感器。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||