| 发明名称 | 薄膜晶体管、其制造方法以及显示装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了薄膜晶体管、其制造方法以及显示装置。一种基板上的TFT的制造方法包括：形成栅极；形成与栅极绝缘并且局部与栅极交叠的半导体层；在栅极和半导体层之间形成栅绝缘层，所述栅绝缘层包括溶胶凝胶混合物；以及在半导体层的两侧形成源极和漏极。 | ||
| 申请公布号 | CN100541743C | 申请公布日期 | 2009.09.16 |
| 申请号 | CN200610166796.3 | 申请日期 | 2006.11.30 |
| 申请人 | 乐金显示有限公司 | 发明人 | 蔡基成;许宰硕;田雄基 |
| 分类号 | H01L21/336(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L29/51(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/336(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孙海龙 |
| 主权项 | 1、一种制造基板上的薄膜晶体管的方法，该方法包括：形成栅极；形成与所述栅极绝缘并局部与所述栅极交叠的半导体层；在所述栅极和所述半导体层之间形成栅绝缘层，所述栅绝缘层包括溶胶凝胶混合物；以及在所述半导体层的两侧形成源极和漏极。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||