| 摘要 |
提议一种可良好地除去在太阳电池用基板之图案制作时所发生之冲蚀残渣的抽吸装置。其具备有：上面为多孔状的进气用面板11A之上部可动室11；及，可使上部可动室11在进气用面板11A之平行面内单方向移动之线性驱动部20；及，沿着线性驱动部20之上部可动室11的移动方向被平行设置之侧室7、7及连接两侧室7、7之进气源35。侧室7各别被配置于卷挂在一对滚子5、5间之无端运行皮带6之内侧，在该等侧室7、7形成各沿其长边方向藉由运行皮带6所覆盖之开口部7A。在运行皮带6之对应开口部7A位置其被固设连结于上部可动室11之通气管8，藉由该通气管8上部可动室11与侧室7、7的内部被连通。 |
