| 摘要 |
本发明提供一种用以抑制起因于探针之细径化所造成之容许电流之降低的探针单元，系具备：复数个大径探针：复数个小径探针，其直径比大径探针之直径小；大径探针固持具，具有：复数个大孔部，个别地保持复数个大径探针；及复数个收容孔部，其直径比大孔部之直径小，且与复数个大孔部之任一个连通，并在与大径探针接触之状态下收容小径探针之端部；同时互相连通之大孔部及收容孔部之组合系在厚度方向贯穿该大径探针固持具；及小径探针固持具，以朝厚度方向贯穿该小径探针固持具之方式设有以防脱状态个别地保持上述复数个小径探针之复数个小孔部，上述小径探针固持具叠层在上述大径探针持具上，以使各小孔部与上述复数个收容孔部之任一个连通，而互相连通之上述大孔部与上述小孔部之长度方向之中心轴互异，且在上述复数个小孔部，包含有邻接之二个小孔部之中心轴间距离比分别对应该二个小孔部之二个大孔部之中心轴间距离小者。 |
