| 发明名称 | 无尘设备结构 | ||
| 摘要 | 一种无尘设备，至少一舱体，舱体中设有黄光制程设备，且舱体设有至少一将尘粒子排出并阻绝尘粒子进入的排尘装置，舱体设有至少一舱门，以及至少一工作手套。本实用新型可节省厂房使用空间以及无尘室建造的较高成本，亦可作为教学用，故学校不需再花费经费建立无尘室即可于实时进行黄光制程教学。 | ||
| 申请公布号 | CN201311547Y | 申请公布日期 | 2009.09.16 |
| 申请号 | CN200820142906.7 | 申请日期 | 2008.11.04 |
| 申请人 | 邱碧青 | 发明人 | 侯帝光 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 天津三元专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 钱 凯 |
| 主权项 | 1.一种无尘设备结构，其特征在于：至少一舱体，舱体中设有黄光制程设备，且舱体设有至少一将尘粒子排出并阻绝尘粒子进入的排尘装置，舱体设有至少一舱门，以及至少一工作手套。 | ||
| 地址 | 中国台湾台中市 | ||