发明名称 |
SOI WAFER AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP1605510(A4) |
申请公布日期 |
2009.09.16 |
申请号 |
EP20040720203 |
申请日期 |
2004.03.12 |
申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. |
发明人 |
SAKURADA, MASAHIRO |
分类号 |
H01L21/02;H01L21/265;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|