测定误差之修正方法及电子零件特性测定装置

摘要

提供一种测定误差之修正方法及电子零件特性测定装置，可消除测定治具之埠间之泄漏讯号成分造成之修正误差，以提升修正精度。对具有互异电气特性之修正资料取得试样，自构装于基准测定治具20之状态与构装于测试测定治具30之状态下测定电气特性S#sB!D#eB!、S#sB!T#eB!之结果，来决定使在测试定治具构装状态之测定值与在基准测定治具构装状态之测定值相关连的数学式CA#sB!ij#eB!。数学式CA#sB!ij#eB!系假设为基准测定治具与测试测定治具中至少一者之至少2个埠间存在有直接传递之泄漏讯号的数学式。对任意电子零件，在构装于测试测定治具30之状态下测定电气特性，并使用已决定之数学式CA#sB!ij#eB!，来算出该电子零件在构装于基准测定治具20之状态下测定时应可得到之电气特性。