发明名称
摘要
申请公布号 JP4331690(B2) 申请公布日期 2009.09.16
申请号 JP20040571319 申请日期 2003.04.30
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/08;H01L29/423;H01L29/49;H01L31/109 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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