一种异质pn结型日盲紫外探测器

摘要

本发明公开了一种异质pn结型日盲紫外探测器，其结构自上而下依次由顶电极，锌铍镁氧薄膜，p-Si衬底和底电极叠置而成。锌铍镁氧薄膜作为光电响应材料，其分子式为Zn_1-x-yBe_xMg_yO，式中x、y为摩尔分数，且0＜x＜1，0＜y＜1，0＜x+y＜1。可在保持单一六方纤锌矿结构的前提下，通过调节薄膜中Be和Mg的含量控制探测器工作波段至日盲区(220～280nm)。锌铍镁氧薄膜与p-Si形成异质pn结结构，入射光产生的电子-空穴对可在内建电场作用下分开，导致载流子漂移出耗尽层形成外部电路电流。本发明的优点在于不受太阳光背景干扰，成本低，无需外加工作电压，结构简单且易于与Si集成，在环境保护、紫外通讯、生物医学研究以及天文学等领域具有重要应用前景。

主权项

1、一种异质pn结型日盲紫外探测器，其特征是自上而下依次由顶电极，锌铍镁氧薄膜，p-Si衬底和底电极叠置而成，所述的锌铍镁氧薄膜与p-Si构成异质pn结结构。