微液滴流体输送装置

摘要

本案系为一种微液滴流体输送装置，用以传送流体，其系包含：阀体座，具有微凸结构；阀体盖体，设置于阀体座上，且具有压力腔室以及微凸结构；阀体薄膜，设置于阀体座及阀体盖体之间，并具有至少一个阀门结构，每一阀门结构系分别具有阀片、复数个孔洞以及复数个延伸部；复数个暂存室，于阀体薄膜与阀体盖体之间形成第一暂存室，以及于阀体薄膜与阀体座之间形成第二暂存室；致动装置，其系包含致动器以及振动薄膜；其中，当施以操作频率小于20Hz于致动装置之致动器上，将使流经压力腔室之流体系达到小于1ml/min的微液滴流量传输。