侧对接式测试分选机及其测试盘传输设备

摘要

一种侧对接式测试分选机，向下降低机构降低已传送至浸泡室内的水平状态的测试盘至下降结束位置，垂直状态改变机构将已被降低至下降结束位置的测试盘状态从水平状态改变至垂直状态，以传送测试盘至测试室内。进一步的，水平状态改变机构将测试室内测试盘的状态从垂直状态改变至水平状态，同时传送测试盘至解除浸泡室内的上升起始位置。

主权项

1、一种侧对接式测试分选机，包括：用于装载未测试半导体装置至位于装载位置处的测试盘内的装载单元；用于预加热或预冷却装载在以水平状态从装载位置被传送的测试盘内的半导体装置的浸泡室；用于允许装载在从浸泡室传送的测试盘内的未测试半导体装置在其中被测试的测试室；用于恢复装载在从测试室传送的测试盘内的半导体装置的温度的解除浸泡室；用于卸载装载在从解除浸泡室传送至卸载位置的测试盘内的半导体装置至用户盘，同时根据其测试结果将测试的半导体装置分级的卸载单元；用于向下降低已被传送至浸泡室内的水平状态的测试盘至下降结束位置的下降机构；用于将已被降低至下降结束位置的测试盘的状态从水平状态改变至垂直状态，以传送测试盘至测试室内的垂直状态改变机构；及用于在测试盘被传送到卸载位置之前将测试盘的状态从垂直状态改变至水平状态的水平状态改变机构。