激光加工方法、激光加工装置、电子仪器

摘要

本发明提供一种顶帽状分布的激光光束来进行加工时，提高光利用效率可能的技术。本发明的激光加工方法包括：第一过程，其产生能量强度分布为高斯分布(a)的激光光束(LB)；第二过程，其对激光光束的波面，施加规定的相位调制来整形相应激光光束，以便越是中心其相位相对提前，越是离开中心，相位相对延迟；第三过程，其对经过第二过程已经整形的激光光束波面，施加规定的相位调制来整形相应的激光光束，以便越是中心其相位相对延迟，越是离开中心其相位相对提前；和第四过程，其将经过第二和第三过程而能量强度分布近似变为平坦分布(b)的激光光束，照射在被加工体(100)而加工被加工体。

主权项

1、一种激光加工方法，其特征在于，包括：第一过程，其产生能量强度分布为高斯分布的激光光束；第二过程，其对所述激光光束的波面，以光束径向位置作为变量，具有负的倾斜度的线形函数所表现的相位分布来施加相位调制的方法，整形相应激光光束，以便越是中心其相位相对提前，越是离开中心，其相位相对延迟；第三过程，其对经过所述第二过程已经整形的所述激光光束的波面，以光束径向方向的位置作为变量，具有正的倾斜度的n次函数所表现的相位分布来施加相位调制的方法，整形相应激光光束，以便越是中心其相位相对延迟，越是离开中心，其相位相对提前，n是2以上的自然数；和第四过程，其将经过所述第二和第三过程而能量强度分布近似变为平坦分布的所述激光光束，照射在被加工体而加工被加工体。