基板缓冲装置及方法和处理装置

摘要

本发明提供一种即使基板大型其安全性也高并可避免颗粒物飞散而生产率高且能以想要顺序使退避的多个基板再进出搬送线的基板缓冲装置(36)，包括：具有多级能进出搬送线(A)且上下放置搬送线(A)上搬送的基板(G)的载置台(5a～5f)的搁板部(5)和使搁板部(5)升降以使任意载置台(5a～5f)进出搬送线(A)的升降机构(6)，各载置台(5a～5f)具有进出搬送线(A)时沿搬送方向搬送基板(G)的输送机构(50a～50f)并作为搬送线(A)的一部分工作，将搬送线(A)搬送的基板(G)放置在进出搬送线(A)的载置台(5a)，搁板部(5)由升降机构(6)升降使载置台(5a)与基板(G)从搬送线(A)退避。

主权项

1.一种基板缓冲装置，是使在搬送线上朝一个方向搬送的基板暂时从搬送线退避用的基板缓冲装置，其特征在于，包括：上下具有多级能够进出于所述搬送线并且能够放置在所述搬送线上搬送的基板的载置台、而且能够升降地设置的搁板部；使所述搁板部升降，以使所述多个载置台中的任一个进出于所述搬送线的升降机构；作为所述搬送线的一部分而发挥功能，并且与进出于所述搬送线的载置台的搬送方向上游侧邻接设置的上游侧辅助输送机构；邻接于所述上游侧辅助输送机构的搬送方向的上游侧而设置的、作为所述搬送线的一部分而发挥功能的上游侧输送机构；设置在所述上游侧辅助输送机构上，并且对在所述搬送线上搬送的基板进行检测的检测部；以及控制由所述升降机构进行的所述搁板部的升降的控制机构，其中，所述各载置台具有在进出于所述搬送线时沿着搬送方向搬送基板的输送机构，并能够作为所述搬送线的一部分而发挥功能，构成为在使基板从所述搬送线退避时，在所述多个载置台中的进出于所述搬送线的载置台上放置在所述搬送线上搬送来的基板，在该状态下，所述搁板部通过所述升降机构升降而使该基板与该载置台一起从所述搬送线退避，所述上游侧辅助输送机构的搬送速度比邻接于该上游侧辅助输送机构的搬送方向的上游侧而设置的上游侧输送机构的搬送速度快，所述检测部在进出于所述搬送线的载置台上载置有基板的状态下、该载置台与在所述搬送线上搬送来的下一个基板成为规定距离时，检测出该下一个基板并将检测信号发送给所述控制机构，所述控制机构进行控制，使得在从所述检测部接收到所述检测信号时，利用所述升降机构进行所述搁板部的升降。