用于镀覆表面的模块化装置

摘要

本发明涉及一种用来镀覆工件(10)的真空室，在该真空室内执行物理气相沉积(PVD)方法。本发明目的是创造一种上述类型的真空室，其可以具有模块化的阴极。为此，该真空室具有多个容纳装置，各容纳装置中可以设置多个阴极。容纳一个或多个阴极(40、42、44、46)的第一容纳装置(30)大致设置在真空室(20)的中心，两个容纳至少一个阴极(48、50、52、54)的辅助容纳装置(32、34)各以类似门的方式设置在真空室(20)的边缘。

主权项

1.一种用来由真空室(20)镀覆工件(10)表面的模块化装置，在该真空室(20)内可进行物理气相沉积(PVD)方法，其中真空室包括至少一个阳极装置和多个阴极(40、42、44、46、48、50、52、54)的容纳装置；其中在至少一个阳极与阴极(40、42、44、46、48、50、52、54)之间能引燃多个电弧；其中用于容纳至少一个阴极(40、42、44、46)的第一容纳装置(30)设置在真空室(20)的中心位置；并且至少一个用于容纳至少一个阴极(48、50、52、54)的第二容纳装置(32、34)设置在真空室(20)的边缘，且第二容纳装置(32、34)被设计成作为真空室(20)的可拆卸和/或平开的门；其特征在于，第二容纳装置(32、34)被设计成容纳多个阴极，所述多个阴极水平放置且一个放在另一个上方使得它们向真空室内突出。