发明名称 TRANSFER OF A THIN LAYER FROM A WAFER COMPRISING A BUFFER LAYER
摘要
申请公布号 EP1522097(B1) 申请公布日期 2009.09.16
申请号 EP20030762850 申请日期 2003.07.09
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 GHYSELEN, BRUNO;AULNETTE, CECILE;OSTERNAUD, BENEDITE
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/20;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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