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发明名称 METHODS FOR WET CLEANING QUARTZ SURFACES OF COMPONENTS FOR PLASMA PROCESSING CHAMBERS
摘要
申请公布号 EP1753549(A4) 申请公布日期 2009.09.16
申请号 EP20050756207 申请日期 2005.06.03
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 SHIH, HONG;HUANG, TUOCHUAN;OUTKA, DUANE;KUO, JACK;LIU, SHENJIAN;MOREL, BRUNO;CHEN, ANTHONY
分类号 C23G1/02;B08B3/00;B08B3/04;B08B3/12;B08B3/14;C23C16/00;C23C16/44 主分类号 C23G1/02
代理机构 代理人
主权项
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