具有光阻层的工件的加工方法

摘要

一种使用曝光装置(30)来加工具有光阻层(12)的工件(10)的加工方法，此方法是在上述曝光装置(30)的物镜(35a)与上述光阻层(12)之间配置可透过上述曝光装置(30)发出的光的透明薄片(20)，通过上述透明薄片(20)将上述光阻层(12)曝光。