利用表面粗糙之高度光取出效率之氮化物基发光二极体

摘要

本发明揭示一种I11-氮化物发光二极体(LED)及其制造方法，其中纹理化该LED之一I11-氮化物层之一半极性或非极性平面之至少一个表面，藉此形成一经纹理化表面以增加光取出。可藉由电浆辅助化学蚀刻、微影后跟蚀刻或奈米转印后跟蚀刻来实施该纹理化。