制造绝缘及合并沟槽电容器之简化方法

摘要

具有小尺寸及大尺寸之渠沟电容器可使用一组合微影制程而同时形成，其中一光罩中之开口具有相同尺寸及间隔。当该光罩中之该等开口与半导体基板之一晶面对准时形成较大电容器，从而使该半导体基板中的所得渠沟合并。当该光罩中之该等开口与该半导体基板之另一晶面对准时形成较小电容器，在该状况下，每一渠沟保持与其他渠沟分离。