| 摘要 |
本发明之目的在提供一种流量比率控制装置，其无须复数种类的机构，而可达成减少零件种类，降低成本。本发明之流量比率控制装置并具备同一种类的差压式流量控制装置MFC1、MFC2，以及给予该流量控制装置MFC1、MFC2指令并对其进行控制的控制处理机构C，此一流量比率控制装置的特征为：在从主流路ML的终端该使分岐的分岐流路BL1、BL2上，以互相逆向的方式设置该流量控制装置MFC1、MFC2，让设置在其中一条分岐流路BL1上的流量控制装置MFC1运作，使其检测压力符合预定目标压力，另一方面，对设置在另一条分岐流路BL2上的流量控制装置MFC2而言，根据测定流量的总量与预先设定好的流量比率，设定应该流过该流量控制装置MFC2的目标流量，并让该流量控制装置MFC2运作，使其符合该目标流量。 |
