氧化锌薄膜的热处理方法以及太阳能电池的制造方法

摘要

本发明的氧化锌薄膜的热处理方法以及太阳能电池的制造方法，包括：将形成有氧化锌薄膜的基板装载在腔室内的步骤；向上述腔室内通入氢气的步骤；固定上述腔室内压力的步骤以及在上述腔室内利用上述氢气对氧化锌薄膜进行热处理的步骤。