发明名称 INTERFEROMETER ZUR BESTIMMUNG VON EIGENSCHAFTEN EINER OBJEKTOBERFLÄCHE
摘要
申请公布号 AT441831(T) 申请公布日期 2009.09.15
申请号 AT20060718763T 申请日期 2006.01.19
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人 DE LEGA, XAVIER;DE GROOT, PETER
分类号 G01B9/02;G01B11/06 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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