发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING AN INTERFERENCE-COLOUR-FREE PROTECTIVE LAYER |
摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung befasst sich mit einem Verfahrenzur Herstellung einer interferenzfarbenfreien Schutzschicht durch Strukturierung von Oberflächen durch Aufbringung oder teilweiser Abtragung einer Schicht mit dem Brechungsindex n mittels eines Plasmas. Dabei wird eine Maske auf oder über der Oberfläche angebracht und die Schicht damit dermaßen strukturiert, dass bei einem vorher festgelegten minimalen Beobachtungsabstand B (in cm) der Betrag des Gradienten der Schichtdicke zwischen (0,03 cm) · n/B und (20 cm) · n/B liegt. ·</p> |
申请公布号 |
WO2009109350(A1) |
申请公布日期 |
2009.09.11 |
申请号 |
WO2009EP01472 |
申请日期 |
2009.03.02 |
申请人 |
IPLAS INNOVATIVE PLASMA SYSTEMS GMBH;SUNG-SPITZL, HILDEGARD |
发明人 |
SUNG-SPITZL, HILDEGARD |
分类号 |
C23C16/04;C23C16/56;C23C30/00 |
主分类号 |
C23C16/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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