发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING AN INTERFERENCE-COLOUR-FREE PROTECTIVE LAYER
摘要 <p>Die vorliegende Erfindung befasst sich mit einem Verfahrenzur Herstellung einer interferenzfarbenfreien Schutzschicht durch Strukturierung von Oberflächen durch Aufbringung oder teilweiser Abtragung einer Schicht mit dem Brechungsindex n mittels eines Plasmas. Dabei wird eine Maske auf oder über der Oberfläche angebracht und die Schicht damit dermaßen strukturiert, dass bei einem vorher festgelegten minimalen Beobachtungsabstand B (in cm) der Betrag des Gradienten der Schichtdicke zwischen (0,03 cm) · n/B und (20 cm) · n/B liegt. ·</p>
申请公布号 WO2009109350(A1) 申请公布日期 2009.09.11
申请号 WO2009EP01472 申请日期 2009.03.02
申请人 IPLAS INNOVATIVE PLASMA SYSTEMS GMBH;SUNG-SPITZL, HILDEGARD 发明人 SUNG-SPITZL, HILDEGARD
分类号 C23C16/04;C23C16/56;C23C30/00 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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