| 摘要 |
<p>Ein Vakuum-Abgasleitungssystem zum Abführen von toxischen und/oder brennbaren Gasen weist einen ersten Leitungsabschnitt (10), mindestens einen mittleren Leitungsabschnitt (12) und einen letzten Leitungsabschnitt (14) auf. Flanschverbindungen (28) weisen zwei ringförmige Dichtefemente (32, 34) auf, zwischen denen eine Dichtkammer (36) ausgebildet ist Die Dichtkammer ist über Rohrleitungen (38, 48, 50, 52, 54) mit einer Druckeinrichtung (40) zur Zuleitung von Stickstoff oder einem anderen Inertgas verbunden. Mittels einer Uberwachungseinrichtung, die vorzugsweise einen Drucksensor (58) sowie einen Durchfiussmesser (60) aufweist, kann das Über- oder Unterschreiten von Grenzwerten des Drucks und/oder des Durchflusses detektiert werden. Über eine Steuereinrichtung (64) erfolgt das Erzeugen eines Warnsignals und/oder ein Abschalten der Anlage.</p> |
