| 摘要 |
1. Способ изготовления композиционных мембран на основе тонких пленок металлов, включающий нанесение одним из методов вакуумной технологии на очищенную технологическую подложку тонкой пленки палладия или его сплава, последующее отделение пленки от подложки путем полного или частичного растворения подложки в растворах флотационного типа для данной отделяемой пленки, перенос пленки из водного раствора на пористый держатель мембраны с последующим закреплением пленки, отличающийся тем, что пленку формируют в процессе эпитаксиального роста. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве подложек используют монокристаллические материалы. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что конденсацию пленки ведут при температуре, обеспечивающей формирование одноориентационной эпитаксиальной пленки. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что для повышения качества эпитаксиальной пленки используют промежуточный эпитаксиальный слой материала с меньшей температурой эпитаксии. |
