发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE60139385(D1) 申请公布日期 2009.09.10
申请号 DE2001639385 申请日期 2001.04.02
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 IWASAKI, ATSUSHI;GHYSELEN, BRUNO
分类号 C30B29/06;C30B31/22;C30B33/00;H01L21/762 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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