| 摘要 |
1. Установка вакуумной обработки, в особенности установка ленточного напыления, включающая в себя по меньшей мере один расположенный в технологической камере (2) испаритель (1), содержащий регулируемую по мощности и нагреваемую за счет прохождения тока ванну (3) испарителя, два электрических подающих провода (4, 5), между которыми зажимается ванна (3) испарителя, причем первый подающий провод (4) выполнен с возможностью сдвига относительно второго подающего провода (5) в направлении (А) зажима, а также содержащий устройство для направления первого подающего провода (4) для зажима и позиционирования ванны (3) испарителя между подающими проводами (4, 5), отличающаяся тем, что устройство для направления первого подающего провода (4) имеет по меньшей мере два распорных элемента (18, 19) и одно основание (22), причем первый подающий провод (4) подвижно соединен с основанием (22) с помощью распорных элементов (18, 19), а распорные элементы (18, 19) расположены на одной стороне с первым подающим проводом (4), а другой стороной на основании (22) и способствуют таким образом принудительному направлению первого подающего провода (4), причем распорные элементы (18, 19) имеют такую длину и такое расположение между первым подающим проводом (4) и основанием (22), что по меньшей мере за счет небольшой области отклонения распорных элементов (18, 19) направление (В) перемещения по существу параллельно направлению (А) зажима. ! 2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что по меньшей мере один распорный элемент выполнен жестким и с помощью шарнирных соединений расположен на первом подающем проводе (4) и на основании (22). ! 3. Установка по п.1 или 2, отличающаяся тем, что предусмотрен� |
