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发明名称 Verformbarer MEMS-Spiegel
摘要
申请公布号 DE602004022224(D1) 申请公布日期 2009.09.10
申请号 DE200460022224T 申请日期 2004.08.19
申请人 OLYMPUS CORPORATION 发明人 MATSUO, DAISUKE
分类号 G02B26/08;B81B3/00;B81B7/00;B81C3/00 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
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