气体激光起振器

摘要

本发明涉及一种气体激光起振器。激发激光气体产生激光的气体激光起振器包括：激光气体用的循环通道；使激光气体在循环通道中循环的循环单元；检测在循环通道内的激光气体的压力的压力检测单元；检测驱动循环单元的功率的功率检测单元；对激光气体的每一种类存储在循环单元稳定运转时的激光气体的压力和循环单元的功率的关系的存储单元；以及激光气体判定单元。激光气体判定单元基于在循环单元稳定运转时检测出的激光气体的压力及循环单元的功率与存储在存储单元中的激光气体的压力及循环单元的功率之间的关系，判定激光气体的种类。由此，不用产生放电电压，判定激光气体。在不能判定激光气体的场合，也可以判断在激光起振器上产生了异常。

主权项

1. 一种气体激光起振器(2)，激发激光气体产生激光，其特征在于，具备：上述激光气体用的循环通道(13)；循环单元(14)，使上述激光气体在上述循环通道(13)内循环；压力检测单元(16)，检测在上述循环通道(13)内的上述激光气体的压力；功率检测单元(11)，检测驱动上述循环单元(14)的功率；存储单元(35)，对上述激光气体的每一种类存储在上述循环单元(14)稳定运转时的上述激光气体的压力和上述循环单元(14)的功率的关系；以及激光气体判定单元(31)，基于在上述循环单元(14)稳定运转时利用上述压力检测单元(16)及上述功率检测单元(11)分别检测出的上述激光气体的压力及上述循环单元(14)的功率、以及存储在上述存储单元(35)中的上述激光气体的压力和上述循环单元(14)的功率之间的关系，判定上述激光气体的种类。