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发明名称
摘要
申请公布号
JP4328192(B2)
申请公布日期
2009.09.09
申请号
JP20030415027
申请日期
2003.12.12
申请人
发明人
分类号
G21K1/087;H01J37/153;G21K1/08;G21K1/093;G21K5/04;H01J3/14;H01L21/027
主分类号
G21K1/087
代理机构
代理人
主权项
地址
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