| 发明名称 | 具有用于保持真空的细粒吸气剂层的微器件组件 | ||
| 摘要 | 公开一种微器件组件(20)，其包括器件微结构(22)，外壳(30)，和细粒吸气剂层(40)。外壳(30)具有基部(32)与顶盖(34)。器件微结构(22)与基部(32)相连，且顶盖(34)与基部(32)气密密封。外壳(30)限定包围器件微结构(22)的腔体(38)。细粒吸气剂层(40)在顶盖(34)的内侧(42)，用于保持包围器件微结构(22)的腔体(38)内的真空。顶盖(34)由金属制成，或在施加细粒吸气剂层(40)的区域具有至少一个金属表面。细粒吸气剂层(40)具有亚微米颗粒大小。还公开了制造微器件组件(20)的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN100538981C | 申请公布日期 | 2009.09.09 |
| 申请号 | CN200480007790.0 | 申请日期 | 2004.02.05 |
| 申请人 | 摩托罗拉公司 | 发明人 | 王仲平;谢里尔·B·菲尔德;迈克尔·普法伊费尔 |
| 分类号 | H01J19/70(2006.01)I;H01J9/38(2006.01)I | 主分类号 | H01J19/70(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 李 涛;钟 强 |
| 主权项 | 1. 一种微器件组件，包括：器件微结构，其中所述微结构是角速度感应元件；具有基部和顶盖的外壳，器件微结构与基部相连，顶盖气密密封到基部，外壳形成包围器件微结构的腔体；以及淀积在顶盖内侧的细粒吸气剂层，用于保持包围器件微结构的腔体内的真空。 | ||
| 地址 | 美国伊利诺斯州 | ||