静电放电耐受能力评价装置和静电放电耐受能力评价方法

摘要

具有施加装置(10)和公共连接部(51)。其中，上述施加装置(10)施加脉冲电荷，包括：第1连接部(15)，可与源极驱动器(120)的输入端子或输出端子连接，并对源极驱动器(120)施加电荷；以及第2连接部(16)，可连接不同于上述与第1连接部(15)连接的端子的端子，并且，第2连接部(16)所连接的端子可接地。上述公共连接部(51)可与源极驱动器(120)的多个输出端子连接，并使得该多个输出端子彼此电连接。源极驱动器(120)的输出端子通过公共连接部(51)与第1连接部(15)或第2连接部(16)连接。上述结构能够更好地再现半导体器件的故障状况，从而对半导体器件的静电放电耐受能力进行评价。

主权项

1.一种静电放电耐受能力评价装置，对具有多个输入端子和多个输出端子的测定对象器件的静电放电耐受能力进行评价，其特征在于，包括：施加装置，用于施加脉冲电荷，具备第1连接部和第2连接部，其中，上述第1连接部可与上述输入端子或输出端子连接并对上述测定对象器件提供电荷，上述第2连接部可连接与上述第1连接部所连接的端子不同的端子并且上述第2连接部所连接的端子可接地；以及公共连接部，可与上述测定对象器件的多个输出端子连接，并使得该多个输出端子彼此电连接，其中，上述测定对象器件的输出端子通过上述公共连接部与第1连接部或第2连接部连接。