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发明名称
摘要
申请公布号 JP4326895(B2) 申请公布日期 2009.09.09
申请号 JP20030332605 申请日期 2003.09.25
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C23C14/04;C23C14/22;C23C14/35;C23C14/40;H01J37/34;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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