一种增强激光束均匀化的均束器

摘要

本实用新型是一种增强激光束均匀化的均束器。包括有微透镜阵列器(1)及聚焦透镜(3)，其中透镜阵列器(1)与聚焦透镜(3)之间设置有能发生Raman-Nath声光衍射的声光器件(2)。本实用新型利用微透镜阵列器先分割光束，再由声光衍射器件产生Raman-Nath衍射，由于Raman-Nath衍射属多级衍射，发生衍射的每个位点都产生一组离散型衍射光，而每个位点衍射光的远场叠加是由每个组不同级衍射光组成的非相干叠加，故各处的强度近似相等，从而可以达到均匀化的要求。另外，本实用新型由于更细的光束一部分由声光栅衍射来提供，故不一定需要高密度的微透镜阵列器，只使用普通微透镜阵列器即可，同时，本实用新型只使用一个微透镜阵列器，不仅节省了微透镜阵列器，又避免了由两个微透镜阵列器垂直光轴方向对称放置所产生的光学对准问题。

主权项

1、一种增强激光束均匀化的均束器，包括有微透镜阵列器(1)及聚焦透镜(3)，其特征在于透镜阵列器(1)与聚焦透镜(3)之间设置有能发生Raman-Nath声光衍射的声光器件(2)。