Two step etching of a bottom anti-reflective coating layer in dual damascene application,申请号EP20070122597-传众专利搜索

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发明名称	Two step etching of a bottom anti-reflective coating layer in dual damascene application
摘要
申请公布号	EP1930939(A3)	申请公布日期	2009.09.09
申请号	EP20070122597	申请日期	2007.12.07
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	HUANG, ZHILIN;LI, SIYI;DELGADINO, GERARDO A.
分类号	H01L21/311;H01L21/768	主分类号	H01L21/311
代理机构		代理人
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