| 发明名称 | 多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置，其特征在于：包括产品汽化器和静态混合器，产品汽化器和静态混合器之间设置有流量计一，所述产品汽化器、流量计一和静态混合器之间均通过管道连接；所述静态混合器还设置有单独的氢气进口；本实用新型通过调节阀、切断阀和流量计，可以将H2和氯硅烷的比例准确、快速控制；混合气的流量可以准确控制；控制直观、简单，主控人员容易驾驭。 | ||
| 申请公布号 | CN201305651Y | 申请公布日期 | 2009.09.09 |
| 申请号 | CN200820222838.5 | 申请日期 | 2008.11.24 |
| 申请人 | 四川永祥多晶硅有限公司 | 发明人 | 戴自忠;易忠海 |
| 分类号 | C30B29/06(2006.01)I;C01B33/03(2006.01)I | 主分类号 | C30B29/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 成都天嘉专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 方 强 |
| 主权项 | 1、多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置，其特征在于：包括产品汽化器(1)和静态混合器(2)，产品汽化器(1)和静态混合器(2)之间设置有流量计一(3)，所述产品汽化器(1)、流量计一(3)和静态混合器(2)之间均通过管道连接；所述静态混合器(2)还设置有单独的氢气进口(4)。 | ||
| 地址 | 614800四川省乐山市五通桥竹根镇新华村 | ||