发明名称 |
多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置 |
摘要 |
本实用新型公开了多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置,其特征在于:出气管外部设置有压缩空气来源装置和空气通风管道,压缩空气来源装置和空气通风管道固定连接,所述空气通风管道上设置有输出空气的出气孔;该装置可以达到良好的冷却效果,可以使多晶硅氢还原炉运行十分稳定正常,安全高效;结构简单,操作方便安全。 |
申请公布号 |
CN201305656Y |
申请公布日期 |
2009.09.09 |
申请号 |
CN200820222844.0 |
申请日期 |
2008.11.24 |
申请人 |
四川永祥多晶硅有限公司 |
发明人 |
戴自忠;涂大勇 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01)I;C01B33/03(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
代理机构 |
成都天嘉专利事务所(普通合伙) |
代理人 |
方 强 |
主权项 |
1、多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置,其特征在于:出气管(1)外部设置有压缩空气来源装置(2)和空气通风管道(3),压缩空气来源装置(2)和空气通风管道(3)固定连接,所述空气通风管道(3)上设置有输出空气的出气孔(4)。 |
地址 |
614800四川省乐山市五通桥竹根镇新华村 |