发明名称 多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置
摘要 本实用新型公开了多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置,其特征在于:出气管外部设置有压缩空气来源装置和空气通风管道,压缩空气来源装置和空气通风管道固定连接,所述空气通风管道上设置有输出空气的出气孔;该装置可以达到良好的冷却效果,可以使多晶硅氢还原炉运行十分稳定正常,安全高效;结构简单,操作方便安全。
申请公布号 CN201305656Y 申请公布日期 2009.09.09
申请号 CN200820222844.0 申请日期 2008.11.24
申请人 四川永祥多晶硅有限公司 发明人 戴自忠;涂大勇
分类号 C30B29/06(2006.01)I;C01B33/03(2006.01)I 主分类号 C30B29/06(2006.01)I
代理机构 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 代理人 方 强
主权项 1、多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置,其特征在于:出气管(1)外部设置有压缩空气来源装置(2)和空气通风管道(3),压缩空气来源装置(2)和空气通风管道(3)固定连接,所述空气通风管道(3)上设置有输出空气的出气孔(4)。
地址 614800四川省乐山市五通桥竹根镇新华村