利用负压槽的低气压空气轴承滑块的系统和方法

摘要

本发明披露了一种利用负压槽的低气压空气轴承滑块的系统和方法。在一个实施例中，一个凹槽从滑块的前沿延伸、分开并终止在滑块尾沿处的两个位置。在一个实施例中，在靠近滑块尾沿的滑块压力垫中布置有一个凹槽。

主权项

1. 一种滑块，包括：滑块主体；在第一结构上的第一和第二导轨，所述第一结构距所述第一和第二导轨一第一深度，所述第一和第二导轨在延滑块主体的纵向上延伸；在所述第一结构上近似布置于所述滑块主体的尾沿的第三结构；和在所述第三结构中以一个凹槽深度形成的凹槽，该凹槽在大体垂直于第一和第二导轨的方向上延伸跨过所述第三结构，其中该滑块进一步包括以一第二深度形成在所述第一和第二导轨的一部分之间的第二结构，所述第一深度大于所述第二深度。