一种利用光声干涉成像进行无损检测方法

摘要

本发明公开了一种利用光声干涉成像进行无损检测的方法，所用器件包括泵浦激光器1、透镜2、检测激光器4、分光镜5、第一全反镜6、第一光束整形器7、白屏8、第二光束整形器9和第二全反镜10。利用该方法成像不用扫描，所成像既能反映材料表面的缺陷和均匀性，又能反映材料表面的光致声波，是材料表面无损检测和光致声波研究的一种新技术。

主权项

1、一种利用光声干涉成像进行无损检测的方法，所用器件包括泵浦激光器(1)、透镜(2)、检测激光器(4)、分光镜(5)、第一全反镜(6)、第一光束整形器(7)、白屏(8)、第二光束整形器(9)和第二全反镜(10)，其特征在于，泵浦激光器(1)发射泵浦激光经透镜(2)聚焦后照射在被检测材料(3)上，在被检测材料(3)的表面激发出声波，声波以泵浦激光的照射点为中心呈环状向边缘传播；检测激光器(4)发出激光经分光镜(5)分成两路光，其中一路光为检测光经第一全反镜(6)反射后，再经光束整形器(7)后成为扩束的准直光并斜入射到被检测材料(3)的表面，使其反射光照射在白屏(8)上，反射光的等相面将不是原来的平面，而是与声波的形状相同；检测激光器(4)发出激光经分光镜(5)后的另一路光为参考光，经光束整形器(9)后成为扩束的准直光，再经第二全反镜(10)后照射在白屏(8)上；参考光与检测光的反射光之间存在光程差，在白屏(8)上形成干涉并成像；如果材料表面有缺陷或是非均匀材料，那么将产生非均匀的光致声波，由此产生的光声干涉条纹也会不同，检测所成的光声干涉条纹就能反映被检测材料(3)的表面的缺陷、均匀性和材料表面的光致声波。